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    露点监控器在半导体生产中监控氮气供应系统中的应用 时间:2022-11-28 编辑: 管理员

    气体在918博天堂应用十分广泛,如化工、钢铁、半导体、电子、医疗、石油、食品等,其种类繁多,可分为一般特殊气体和918博天堂气体。以使用在半导体产业为例,氮气在半导体制程中是相当重要的气体之一,且使用量最大,因其特性不导电且降温速度快,可在制程中对设备产生保护作用,还可使用在危险气体与空气作隔离或低温测试。

    而气体供应系统的氮气,要求更是严格,需达到高洁净、高纯度及高度干燥等条件;其中为控制干燥程度,在气体供应输送系统的过程,会设置露点监控器来监控气体是否足够低湿。

     

    在半导体产业使用的氮气大多会直接接触电子零件,纯度需达到ppm、ppb级,洁净度则为尘埃粒径控制小于0.1~0.05m,干燥度达到压力露点-40℃ ~-70℃。


    为达到氮气使用的标准,一般会安装露点监控器,如此一来可以更精准的让氮气的露点值保持在极低湿的程度,以提高制程中的良率。

     

    918博天堂露点监控器IE140A测量气体内的微量湿度。露点监控器IE140A用于在线测量空气中的绝对水含量(露点)  ,应用于工厂无尘车间和实验室等环境。

    以半导体行业应用而言,氮气的纯度、洁净度需控制在一定的范围内,也因会直接接触精细的加工制程,改善微量湿气更是大大影响制程中产品的良率,经行业调查, 25%以上的918博天堂不良品,全是因无有效控制低湿环境所造成的损害,可见露点监控器是不可忽视的监控设备;帮助工厂节省成本,也能达到较佳之实用性与安全性。

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