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洁净室是指对空气洁净度、温度、湿度、压差、噪声等参数都需要进行控制的密闭空间。许多精密加工行业、半导体、芯片、医学手术室、电子设备、航天、制药、生物实验室行业等都需要洁净室。比如医学行业主要是为了防止病菌、细菌、灰尘对病人手术过程中造成感染；温湿度对于精密仪器仪表有很大影响。

半导体制造洁净室对温湿度的要求一般是温度处于22-28℃ ，湿度在30-50 RH（%）之间。洁净室运作过程中对相对湿度环境控制尤为常见。因为相对湿度会对洁净室总体表现下降有较大影响，比如加速细菌繁殖；人体舒适感不佳，人的汗液可能污染半导体产品；出现静电荷；加快金属腐蚀生锈；水汽冷凝污染半导体表面的清洁度；光刻的退化；影响光刻胶附着能力等。

因此，对于半导体洁净室的温湿度控制尤为重要。现在的半导体洁净室系统都会安装温湿度监控器严格控制温湿度、安装尘埃粒子监控器，监测空气洁净度和安装压差监控器监控压差情况等，实时监测、报警指示。

不同的洁净室对于温湿度的要求不同的，主要是根据加工使用的产品本身的特性来考量。但是有一点，温湿度不管在任何行业，作为一个环境因素发挥着重要的影响力。我们总是运用各种手段进行温湿度数据监控，以便达到我们的理想状态。